Halbleiter

Modernste Filterbeschichtungen direkt auf strukturierte Wafer.

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Halbleiter

Modernste Filterbeschichtungen direkt auf strukturierte Wafer.

Die Sputter-Beschichtungsanlagen von Bühler Leybold Optics sind mit den modernsten Feinoptik-Technologien ausgerüstet, um die Anforderungen der Halbleiterindustrie zu erfüllen. Sie sorgen, unterstützt von erfahrenen Ingenieuren, in zahlreichen Anwendungsbereichen für Leistungs- und Produktivitätssteigerungen.

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Unsere Vorteile für die Branche

Partikelarme Performance
Unsere Systeme sind zur Herstellung von partikelarmen Filtern konzipiert und erfüllen damit die Anforderungen der Halbleiterindustrie.
Automatisches Handling
Wir bieten Lösungen für das Waferhandling – vom klassischen Beladen von Wafern bis zum vollautomatischen Handling direkt aus SMIF/FOUP-Behältern.
Niedrige Aufbringungstemperatur
Unsere Maschinen sind mit den Backend-Prozessen der CMOS-Herstellung oder Fotolithografie kompatibel.

Anwendungen

Bildgebung und Sensorik

Farb- und NIR-Bandpassfilter sowie Kantenfilter erlauben die Anwendung in Umgebungslicht- und CMOS-Bildsensoren. Auf die Punktprojektor-Wellenlänge abgestimmte Schmalbandpassfilter ermöglichen die Anwendung in der Gesichtserkennung.

Wafer-Level-Optics

Von Antireflex- und Hochreflexbeschichtungen bis zu komplexen Filterentwürfen direkt auf Wafern.

Augmented Reality

Vermehrt werden kleinere Sensoren in Wearables verbaut, sodass auch Hochpräzisionsbeschichtungen und Wellenleiter direkt auf kleinere Elemente aufgebracht werden.

ADAS und LiDAR

NIR-Bandpassfilter und AR-Beschichtungen für Sensoren verhindern, dass Umgebungslicht und Fremdlicht die Messsysteme stören.

Hyperspektrale Bildverarbeitung

Mehrfarbige Bandpassfilter, um digitalen Bildern Informationen zu chemischen Zusammensetzungen oder Oberflächenstrukturen hinzuzufügen.

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Sales Manager Halbleiter

Daniel Sa Pereira


daniel.sa_pereira@buhlergroup.com

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Siemensstrasse 88
Alzenau, Deutschland
63755