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Máquina de deposición por pulverización catódica para capas extremadamente precisas

HELIOS series

La máquina de recubrimiento por sputtering Helios responde a las exigencias de los recubrimientos de capas finas. Se usa con líneas láser, filtros de borde pronunciado y con muescas, espejos láser y de compensación de la distorsión, polarizadores, etc.

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Ventajas clave

Establecemos nuevos estándares de calidad

Gracias a la oxidación óptima de la película, densidades de capa altas y pérdidas de capa bajas, HELIOS consigue valores umbrales máximos de daños láser, una dosificación baja y una reflectividad alta. Este establece una nueva referencia para filtros de más de 200 capas o de capas de hasta 20 µm de espesor.

Ajuste de la referencia para el monitoreo óptico in situ de sustratos

La excelente estabilidad del proceso se traduce en una estabilidad de producción extremadamente elevada y una repetibilidad inigualable. Las herramientas HELIOS son conocidas por su precisión en el espesor hasta capas ultrafinas.

Tecnología innovadora PARMS

La tecnología de procesos PARMS (sputtering reactivo por magnetrón asistido por plasma) garantiza el control preciso de capas finas a escala atómica, ofreciéndole productos de primera calidad y un rendimiento elevado.

Características destacadas

Tecnología PARMS

Películas de alta precisión

La tecnología de vanguardia PARMS (sputtering reactivo por magnetrón asistido por plasma) permite la deposición de recubrimientos dieléctricos de targets metálicos con índices de refracción altos y bajos mediante la combinación de tecnologías de sputtering de frecuencia media (MF) y alta frecuencia (AF) a través de dos magnetrones. Esto le permite disfrutar de una elevada productividad para productos de primera calidad, con una precisión definitiva a escala atómica.

Monitoreo óptico en los sustratos

Alcance la máxima repetibilidad; proteja su producción

Nuestro reconocido sistema de medición óptica in situ LEYBOLD OPTICS OMS 5100 garantiza una terminación precisa del proceso de deposición de cada capa. Con sistemas de capas mayores y al utilizar el dispositivo de carga automatizado, el intercambio de los vidrios de prueba puede llevarse a cabo sin romper el vacío. Esto significa que las herramientas HELIOS permiten un funcionamiento sin supervisión durante largos periodos sin poner en riesgo la calidad de su producto.

Del diseño a la producción

Elaboración rápida de prototipos

Puede transferir rápidamente diseños ópticos a las herramientas de producción o entre las mismas. Las máquinas de recubrimiento se adaptan perfectamente a la producción gracias a la amplia gama de diseños de filtro. Esto contribuye al desarrollo rápido de prototipos de nuevos productos y a reducir el tiempo de comercialización.

Gracias a la gran flexibilidad de materiales y objetivos, se pueden producir filtros basados en materiales para sputtering de alto y bajo índice y mejorar la flexibilidad de las herramientas. Con el uso simultáneo de dos estaciones de sputtering independientes, HELIOS puede ajustar con éxito el índice al valor intermedio deseado.

Con HELIOS, las posibilidades son infinitas: desde diferentes tamaños y tipos de sustratos hasta diferentes tipos de sistemas de manipulación y una extensa lista de materiales para targets de sputtering. Personalice su máquina de deposición al vacío HELIOS para adaptarse a sus necesidades en lo relativo a los diferentes productos, procesos y producciones.

Aplicaciones de semiconductores

Imagen y detección

Filtros de atenuación y pasabanda de color e infrarrojo cercano para aplicaciones tales como sensores de luz ambiental o sensores de imagen CMOS. Los filtros pasabanda estrechos adaptables a la longitud de onda del proyector de puntos permiten aplicaciones de reconocimiento facial.

Óptica de nivel de oblea

Desde recubrimientos antirreflejantes y de elevada reflectividad hasta diseños de filtro complejos construidos directamente sobre las obleas.

Realidad Aumentada

A medida que se implementan sensores más pequeños en dispositivos portátiles, los recubrimientos de elevada precisión y guías de ondas también se incorporan directamente en elementos más pequeños.

ADAS y LiDAR

Filtros pasabanda NIR y antirreflectantes para sensores para evitar que la luz ambiental y externa afecte al sistema de sensores.

Imagen hiperespectral

Filtros pasabanda de varios colores para añadir información sobre la estructura química o de la superficie a imágenes digitales.

Aplicaciones de óptica de precisión

Selección espectral

Los filtros de borde, como los filtros de paso corto o largo, ayudan a seleccionar el campo espectral de los fotoespectrómetros para conseguir unos instrumentos excepcionalmente precisos y para fines de calibración. Los filtros pasabanda aumentan la selectividad de las aplicaciones de detección y estrechan el campo de longitud de onda para una fuente de luz de banda ancha.

Fotografía/vídeo/observación

En una cámara, los filtros de bloqueo UV-IR protegen la óptica sensible del interior del objetivo y mejoran el contraste en el campo de longitudes de onda visibles anulando la luz ultravioleta de alta energía, así como la contaminación lumínica por infrarrojos. Los filtros de luz solar y lunar mejoran el contraste para las observaciones realizadas con telescopios astronómicos.

Tecnología de medición óptica

Los espejos dieléctricos, polarizadores y divisores de haz se utilizan en interferómetros o bancos ópticos para manipular la trayectoria de un haz de luz con el fin de medir con precisión las propiedades ópticas de una muestra. La óptica de espejos y espejos semitransparentes garantizan que los dispositivos de medición geométrica sean lo suficientemente pequeños como para manipularlos con facilidad.

Aplicaciones médicas y de bioimagen

Los filtros de rechazo de banda múltiples mejoran la calidad de las imágenes microscópicas generadas mediante microscopía de fluorescencia y permiten cuantificar los componentes celulares al mismo tiempo que protegen el ojo humano contra la luz UV nociva. Los filtros pasabanda múltiples y de red ayudan a cuantificar rápidamente los marcadores de expresión en la tecnología de análisis médico, incluido el famoso método de RT-PCR.

Telecomunicación

El paso de banda extremadamente estrecho permite multiplexar y demultiplexar señales de telecomunicaciones para la transmisión de información compleja en grandes redes por fibra óptica.

Equipos de manipulación

Cargador de obleas simple

  • Solución sencilla y económica para la producción de pequeños volúmenes
  • Carga semiautomática de portasustratos individuales
  • Superficie reducida

Cargador de cassette simple

  • Solución para la producción de volúmenes medios
  • Carga automática de un lote completo de portasustratos

Cargador multicassette

  • Solución para la producción de grandes volúmenes
  • Tres bloqueos de carga para modo de operación continuo
  • Almacenamiento de múltiples vidrios de prueba para filtros complejos
  • Optimizado para modo de operación remoto
  • Concepto similar para HELIOS 800 y HELIOS 1200

Cargador directo de obleas

  • Solución de gran volumen con una interacción reducida operador-oblea
  • Carga directa de cassettes de obleas estándar
  • Sin premontaje adicional manual de obleas en anillos
  • Reducción del número de partículas

Cargador directo de vaina SMIF

  • Solución totalmente automatizada para la producción de grandes volúmenes
  • Carga de obleas desde vainas SMIF
  • Preparado para la carga de obleas desde vehículos de guiado automático o robots OHT (integración E84)

Cargador directo HELIOS 1200 FOUP

  • Solución totalmente automatizada para la producción de grandes volúmenes
  • Carga de obleas desde FOUP
  • Integración con el equipo del módulo frontal
  • Equipado con volteador de obleas y alineador de obleas

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